Ellisometry/Ellipsometry의 역사 및 배경
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Ellipsometry 소개 및 역사Ellisometry/Ellipsometry의 역사 및 배경 2020. 9. 22. 22:49
편광된 빛을 시편에 비스듬히 입사시키면 그로부터 반사된 빛은 시편의 특성에 따라 편광상태가 변하게 된다. Ellipsometry는 이 편광상태의 변화를 측정 분석하여 시편의 광학 특성이나 박막 두께 등을 찾아내는 기술이다. 이는 분석용 모델 설정을 위해 시편의 구조나 구성 물질 등에 대한 사전 정보가 필요한 기술이다. 최근의 컴퓨터 기술의 진보로 Ellipsometry 기술은 빠르게 발전했다. 이에 따라 Ellipsometry 적용 영역도 대폭 확대됐다. Ellipsometry에서는 빛을 투과 및 반사되어 나오는 정보를 통해 박막 성장을 포함한 공정 및 그 변화를 실시간으로 관찰할 수 있다. 빛을 사용하여 박막 두께를 측정하는 개념은 상당히 오래되었는데, Brewster가 정유의 얇은 방울, 그리고 비누..