Ellisometry/Ellisometry 광학부품
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Ellipsometry에 사용되는 광학부품(4) - Compensator 및 기타 Ellipsometry 부품Ellisometry/Ellisometry 광학부품 2020. 11. 4. 23:43
Compensator 편광상태에 따라 진행파의 위상을 다르게 바꾸는 광학부품으로 'retarder'라고 한다. Quartz, mica, MgF2 등의 복굴절 물질로 만들어지는데 대부분 단축의 결정체로 광축이 판 모양의 retarder의 면과 평행하다. 선편광된 빛이 면에 수직으로 입사할 때 편광의 방향이 광축과 평행할 때와 두 방향에 대한 굴절률이 서로 다르므로, 투과하는 전자기파의 두 성분 역시 다른 속도를 가지게 된다. 따라서 위상변화가 한 쪽이 상대적으로 느려지게 된다. 이런 현상을 'retardation'이라고 부르며, 이 때 굴절률이 큰 방향을 'slow axis', 굴절률이 작은 방향을 'fast axis'라고 한다. 1) Babinet-Soleil Compensator 아래 그림과 같이 광학..
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Ellipsometry에 사용되는 광학부품(3) - Detector, PolarizerEllisometry/Ellisometry 광학부품 2020. 10. 26. 22:57
Detector 일반적으로 가장 많이 사용되는 Detector는 PMT(photomultiplier)와 silicon detector가 있다. PMT의 경우 진공관 tube의 유리 재질과 광전자를 발생시키는 물질에 따라 그 사용 파장 영역이 제한되는데 보통 100nm에서 1000nm 사이에서 선택하여 사용한다. Detector 선택에 있어 고려해야 할 또 다른 사항은 반응속도인데 ellipsometer의 modulation 속도보다 훨씬 빨라야 파형을 따라잡을 수 있다. - PMT: 민감도가 뛰어나 빛의 밝기가 낮은 경우에도 사용 가능하며, 측정 가능한 파장 범위도 튜브를 바꾸어야 하나 상당히 넓다. 아래의 그림과 같이 PMT는 광전음극, 다이노드, 전극으로 구성되어 있다. 광전음극은 빛을 받으면 광전효..
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Ellipsometry에 사용되는 광학부품(2) - 분광기Ellisometry/Ellisometry 광학부품 2020. 10. 7. 20:52
1-2. 분광기 물질이 방출 또는 흡수하는 빛의 스펙트럼을 관찰하고 측정하는 장치를 말하며, 좁은 의미로는 전자파를 그 파장의 차이에 따라 분해하고, 그 강도 분포를 측정하는 기구를 가리킨다. 그리고 넓은 의미로는 전자파뿐만 아니라 전자선 등의 입자선의 에너지 분포를 조사하는 분석 장치도 분광기라고 부른다. 분광기의 종류로는 프리즘을 사용한 프리즘 분광기, 회절격자를 사용한 회절격자 분광기, 빛의 간섭을 이용한 간섭 분광기, 필터를 사용한 필터 분광기 등이 있으며 프리즘과 회절격자를 복합 사용한 분광기도 있다. 분광 관측은 별 빛을 파장별로 분산시킬 뿐만 아니라, 분광기 자체에서도 빛이 많이 손실되므로 관측에는 큰 망원경이 필요하다. Ellipsometry에 사용하는 분광기의 경우, 원리는 같으나 사용처..