Ellisometry/Ellipsometry data 분석
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Ellipsometry data 분석(2) - RCWA, Regression 분석Ellisometry/Ellipsometry data 분석 2020. 11. 28. 12:15
부피비 측정 Void 함량이나 성분별 부피비를 측정하고자 할 경우 다층박막 계산에 필요한 각 층의 광학상수 대입 과정에서 effective medium 이론을 도입하고 거기에 부피비를 미지변수로 정하면 된다. 대부분의 경우 EMA 식을 적용하면 구할 수 있다. 표면거칠기(surface roughness) 및 계면 거칠기(interface roughness) Sputtering 등의 PVD(physical vapor deposition)나 플라즈마를 이용한 PECVD(plasma enhanced chemical vapor deposition) 등으로 박막을 제작하게 되면 기판물질과 흡착물질 상호간의 각종 에너지 차이 때문에 거의 nucleation 과정을 거치고 또한 column 형태의 성장을 하기 때문에..
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Ellipsometry data 분석(1) - 미세 시편 분석Ellisometry/Ellipsometry data 분석 2020. 11. 28. 11:45
Ellipsometry는 광학적 측정기술이기 때문에 물질의 광학적 특성을 조사하는 것이 우선이다. 그러나 대부분의 공학 분야 및 산업체에서는 두께 중심의 미세 구조적 특성연구에 많이 활용하고 있다. 따라서 대부분의 경우 data 분석을 위해서는 측정하고자 하는 시편에 대한 광학 및 구조적 모델을 설정해야 하는데, 시편에 대한 정보를 미리 많이 확보해 두면 분석에 큰 도움이 된다. 이는 광학이나 ellipsometry 그 자체에 대해 잘 알아도 시편제작 방법이나 기술에 대한 지식이 없으면 분석 능력이 크게 제한됨을 의미한다. CVD(chemical vapor deposition)이나 PVD(physical vapor deposition) 등으로 제작시킨 시편이나 플라즈마 처리로 변화시킨 시편의 경우 분석을..