Ellisometry/Ellipsometry를 이해하기 위한 물질의 광학적 성질 기초
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물질의 광학적 성질(2), Ellipsometry 광학부품(1) - 분산모델, 광원Ellisometry/Ellipsometry를 이해하기 위한 물질의 광학적 성질 기초 2020. 10. 4. 17:01
2-3. 유전체와 Cauchy, Sellmeir 모델 유전체의 개념 유전체란 유리 등과 같이 광학적으로 투과나 반사의 측정이 가능한, 유전적 성질을 가진 절연체를 지칭한다. 결국 band 구조가 반도체의 경우와 같이 band gap이 반도체(보통 1eV 근처)보다는 너무 커서 실온에서 전자가 열에너지만으로 interband transition을 하기 힘든 경우를 말한다. Cauchy, Sellmeir 모델 광학에서 Cauchy 모델은 특정 투명 물질에 대한 빛의 굴절률과 파장 사이의 경험적 관계를 나타내는 모델이다. 수학자 아우구스틴루이 카우치(Augustin-Louis Cauchy)의 이름을 따서 1836년에 정의되었다. Cauchy 방정식의 가장 일반적인 형태는 다음과 같이 나타낸다. 여기서 n은 굴..
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물질의 광학적 성질(1) - 물질의 유전율 및 분산모델Ellisometry/Ellipsometry를 이해하기 위한 물질의 광학적 성질 기초 2020. 10. 3. 16:25
앞서 논의된 굴절률 등의 현상을 이해하기 위해서는 그 밑에 깔려 있는 빛과 물질과의 상호 작용을 이해하여야 한다. 우선 빛에 대한 물질의 반응은 사용하는 빛의 광양자 에너지(또는 파장)에 따라 다르게 나타난다. u-wave근처의 전자기파에 대해서는 물질을 구성하는 분자들의 영구 쌍극자가 반응을 하고, 적외선 영역에서는 이온들의 상대적 움직임에 의한 반응이 일어나고, 자외선이나 가시광선 영역에서는 원자를 구성하고 있는 전자나 유도 쌍극자들의 반응으로 나타난다. 금속과 같은 도체 내부에는 외부 전기장에 따라 자유롭게 움직일 수 있는 자유전자(free electron)가 있는 반면, 절연체라고 부르는 물질 속에는 구속된 전자(Bound electron)들 뿐이다. 이 구속된 전자들 역시 외부 전기장에 의해 영..