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전자기학 및 광학 기초 이론(2) - 광학 기초Ellisometry/Ellipsometry를 위한 물리적 이론 기초 2020. 9. 29. 22:00
광학의 개요 및 역사 광학은 전자기파의 특성을 연구하는 응용 물리 분야로, 일반적으로 빛이라 부르는 가시광선만 연구했지만 맥스웰에 의해 가시광선이 전자기파의 일종이라는 사실이 드러나자 광학은 전파부터 감마선까지의 모든 영역에 걸친 연구 분야로 발전하기 시작했다. 상당히 오랜 역사를 자랑하는 학문으로, 양자역학, 통계역학, 전자기학, 분광학과 밀접한 관련이 있다. 더 세부적으로 들어가면 기하광학, 파동광학, 분광학, 양자광학, 비선형광학 등이 있다. 기하광학: 맥스웰 방정식에서 광학기기보다 충분히 짧은 파장 대한 근사적인 광학 이론이다. 빛을 빛살로 나타내며, 굴절과 반사 법칙을 이용하여 거울, 렌즈, 프리즘 등의 광학기기의 원리를 설명할 수 있다. 파동광학: 맥스웰 방정식에서 편광을 무시하고 빛이 한 종..
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전자기학 및 광학 기초 이론(1) - 전자기파와 빛Ellisometry/Ellipsometry를 위한 물리적 이론 기초 2020. 9. 28. 22:52
Ellipsomery의 원리와 분석과정 및 이를 구성하는 광학계를 이해하기 위해서는 광학을 잘 알아야 한다. 광학이란, 빛과 물질과의 상호작용에서 발생하는 현상을 체계화 한 것이다. 그러나 기초적인 광학만으로는 빛의 굴절, 반사 등이 왜 발생하고 굴절률이 파장에 따라 왜 다른지 이해할 수 없는데, 이 부분에 대해서는 전자기학의 도움을 받아야 한다. 1. 전자기파와 빛 빛이란 각종 전자기파 중에서 그 파장 또는 광양자 에너지(Photon Energy) 영역이 광학 영역인 것을 말한다. 분광 Ellipsometry의 경우 대부분 약 1.5eV에서 5.0eV 사이에서 작동하고 있다. 이 영역은 근적외선(near IR), 가시광선(visible range), 그리고 근적외선(near UV) 영역을 포함하게 되며..
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Ellipsometry 소개 및 역사Ellisometry/Ellipsometry의 역사 및 배경 2020. 9. 22. 22:49
편광된 빛을 시편에 비스듬히 입사시키면 그로부터 반사된 빛은 시편의 특성에 따라 편광상태가 변하게 된다. Ellipsometry는 이 편광상태의 변화를 측정 분석하여 시편의 광학 특성이나 박막 두께 등을 찾아내는 기술이다. 이는 분석용 모델 설정을 위해 시편의 구조나 구성 물질 등에 대한 사전 정보가 필요한 기술이다. 최근의 컴퓨터 기술의 진보로 Ellipsometry 기술은 빠르게 발전했다. 이에 따라 Ellipsometry 적용 영역도 대폭 확대됐다. Ellipsometry에서는 빛을 투과 및 반사되어 나오는 정보를 통해 박막 성장을 포함한 공정 및 그 변화를 실시간으로 관찰할 수 있다. 빛을 사용하여 박막 두께를 측정하는 개념은 상당히 오래되었는데, Brewster가 정유의 얇은 방울, 그리고 비누..