전체 글
-
Ellipsometry의 원리 및 종류(8) - Real Time Ellipsometry 측정 및 분석Ellisometry/Ellipsometry 원리 및 종류 2020. 11. 27. 23:24
실시간 분광 ellipsometer 최초의 실시간 ellipsometer는 Muller(1984)에 의해 개발 되었는데 interference filter를 회전시키는 self nulling 방식의 실시간 분광 ellipsometry가 그 것이다. 이는 1.8~3.0 eV 사이에 있는 약 400개의 ellipsometry data를 약 3초에 측정하였다. 하지만 그 에너지 영역이 너무 제한적이고 분광기 대신에 interference filter를 사용했기 때문에 분광 resolution이 좋지 못하고 또한 더 빠른 측정시간의 실현이 어려워 큰 각광을 받지 못했다. 이를 보완하여 array detector를 이용하는 ellipsometry가 개발되었다. Array detector를 사용할 경우 정확도가 일..
-
Ellipsometry의 원리 및 종류(7) - RAE(RPE) 측정과정, CalibrationEllisometry/Ellipsometry 원리 및 종류 2020. 11. 27. 22:47
Rotating polarizer(analyzer) ellipsometer 실제 측정과정 1) 광학시스템 정렬(System alignment): 모든 광학 시스템이 완벽하게 정렬이 되어 있어야 하는데 처음 설치를 할 때 가장 어려운 작업 중 하나이다. 2) 시편정렬(Sample alignment): 일단 광학시스템이 잘 정렬이 되어 있다면 측정시 마다 시편을 시편장착대(sample holder)에 부착시킨 뒤 광경로가 잘 형성되도록 정렬을 해야 한다. 보통 alignment telescope 등을 사용하기도 하는데 숙달된 경우는 detector의 신호를 육안으로 관찰하는 것만으로도 충분히 해결 가능하다. 시편장착대에는 시편면의 기울기 조절을 위해 두 방향 기울기 조절장치(tilter)와 시편면의 수직이동..
-
Ellipsometry의 원리와 종류(6) - RPE vs RAE 특성비교, RC2Ellisometry/Ellipsometry 원리 및 종류 2020. 11. 26. 22:56
Rotating polarizer ellipsometry(RPE)와 Rotating analyzer ellipsometry(RAE)의 특성비교 구분 Rotating polarizer (RP) Rotating analyzer (RA) 비고 분광 측정 시 백색광 단색광 RPE: 반사 후 분광 RAE: 반사 전 분광 분광기 위치 Detector 쪽 광원 쪽 이유: 분광기의 편광 의존도 큼 측정 시 환경 상관 없음 소등 RA: 사용자가 불편함 편광 오차 원인 (a) 광원 부분 편광 (b) 검출기의 편광 의존도 (a): polarizer의 회전각에 따라 선편광이 된 빛의 밝기 변화. (b): analyzer의 회전각에 따라 검출기의 반응이 다름. RPE나 RAE는 다른 종류의 ellipsometry에 비해 우선 ..