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Ellipsometry의 원리 및 종류(5) - Phase Modulation Ellipsometry, RPE, RAEEllisometry/Ellipsometry 원리 및 종류 2020. 11. 26. 22:18
Phase modulation ellipsometry 표면반사에 수반되는 편광상태의 변화 속에 함유된 시편의 정보를 이끌어 내기 위해서는 측정장비의 편광 발생 또는 인식 상태를 공간 또는 시간적으로 변화시켜야 하는데 이를 변조(modulation)시킨다고 한다. Rotating polarizer형이나 rotating analyzer형에서는 편광기의 회전이 이에 해당한다. 하지만 이런 기계적인 방법을 사용하지 않고 polarizer-modulator를 사용하여 광전자적으로 변조시키는 것이 가능하다. 아래 그림과 같이 PMSA(Polarizer-Modulator-Sample-Analyzer)로 compensator를 사용하는 PCSA(Polarizer-Compensator-Sample-Analyzer) 구성..
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Ellipsometry의 원리 및 종류(4) - Null EllipsometryEllisometry/Ellipsometry 원리 및 종류 2020. 11. 25. 22:23
## Null ellipsometry ## 가장 먼저 사용된 기술로 측정속도가 너무 느리지만 그 정확성 때문에 현재까지 이용되고 있다. 그 구성은 polarizer-compensator-sample-analyzer(PCSA)로 되어 있는데, 시편을 제외한 광부품의 위치각 또는 입사각을 detector에 빛이 들어오지 않을 때까지 조절하여 그 때의 광부품의 위치로 ellipsometry 각 (Δ, ψ)을 찾아낸다. 이와 같이 detector에 들어오는 빛을 없도록 하는 것을 null(또는 소광)이라고 한다. 시편에서 반사된 빛이 선편광이 되도록 polarizer와 compensator의 위치각과 retardation 각이 조합을 이루어야 하고 이때 analyzer의 편광축을 이 선편광에 수직이 되도록 돌려..
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Ellipsometry 종류 및 원리(3) - 그 외 다양한 Ellipsometry들Ellisometry/Ellipsometry 원리 및 종류 2020. 11. 25. 21:47
그 밖의 Ellipsometry - Passive ellipsometry 대부분의 ellipsometer의 구조에는 기계적이거나 광전자적으로 시간에 따른 변화를 부여하는 장치가 있다. polarizer를 회전시킨다던지, modulator에 진동을 야기시키는 것들이 그 것이다. Passive ellipsometry 종류 중 하나는 시편에서 반사된 빛을 평행하게 두 갈래로 나눈 다음 그중 하나는 achromatic quarterwave retarder를 지나게 하여 이 두 빛을 각각 beam displacer를 지나게 하여 각각에서 서로 수직으로 편광된 성분을 측정하게 된다. 즉, 4개의 다른 위치에 있는 analyzer가 동시에 시편에서 반사된 빛의 편광상태를 측정하게 되는 것이다. 또 하나는 시편에서 반..