전체 글
-
Ellipsometry에 사용되는 광학부품(3) - Detector, PolarizerEllisometry/Ellisometry 광학부품 2020. 10. 26. 22:57
Detector 일반적으로 가장 많이 사용되는 Detector는 PMT(photomultiplier)와 silicon detector가 있다. PMT의 경우 진공관 tube의 유리 재질과 광전자를 발생시키는 물질에 따라 그 사용 파장 영역이 제한되는데 보통 100nm에서 1000nm 사이에서 선택하여 사용한다. Detector 선택에 있어 고려해야 할 또 다른 사항은 반응속도인데 ellipsometer의 modulation 속도보다 훨씬 빨라야 파형을 따라잡을 수 있다. - PMT: 민감도가 뛰어나 빛의 밝기가 낮은 경우에도 사용 가능하며, 측정 가능한 파장 범위도 튜브를 바꾸어야 하나 상당히 넓다. 아래의 그림과 같이 PMT는 광전음극, 다이노드, 전극으로 구성되어 있다. 광전음극은 빛을 받으면 광전효..
-
Ellipsometry에 사용되는 광학부품(2) - 분광기Ellisometry/Ellisometry 광학부품 2020. 10. 7. 20:52
1-2. 분광기 물질이 방출 또는 흡수하는 빛의 스펙트럼을 관찰하고 측정하는 장치를 말하며, 좁은 의미로는 전자파를 그 파장의 차이에 따라 분해하고, 그 강도 분포를 측정하는 기구를 가리킨다. 그리고 넓은 의미로는 전자파뿐만 아니라 전자선 등의 입자선의 에너지 분포를 조사하는 분석 장치도 분광기라고 부른다. 분광기의 종류로는 프리즘을 사용한 프리즘 분광기, 회절격자를 사용한 회절격자 분광기, 빛의 간섭을 이용한 간섭 분광기, 필터를 사용한 필터 분광기 등이 있으며 프리즘과 회절격자를 복합 사용한 분광기도 있다. 분광 관측은 별 빛을 파장별로 분산시킬 뿐만 아니라, 분광기 자체에서도 빛이 많이 손실되므로 관측에는 큰 망원경이 필요하다. Ellipsometry에 사용하는 분광기의 경우, 원리는 같으나 사용처..
-
물질의 광학적 성질(2), Ellipsometry 광학부품(1) - 분산모델, 광원Ellisometry/Ellipsometry를 이해하기 위한 물질의 광학적 성질 기초 2020. 10. 4. 17:01
2-3. 유전체와 Cauchy, Sellmeir 모델 유전체의 개념 유전체란 유리 등과 같이 광학적으로 투과나 반사의 측정이 가능한, 유전적 성질을 가진 절연체를 지칭한다. 결국 band 구조가 반도체의 경우와 같이 band gap이 반도체(보통 1eV 근처)보다는 너무 커서 실온에서 전자가 열에너지만으로 interband transition을 하기 힘든 경우를 말한다. Cauchy, Sellmeir 모델 광학에서 Cauchy 모델은 특정 투명 물질에 대한 빛의 굴절률과 파장 사이의 경험적 관계를 나타내는 모델이다. 수학자 아우구스틴루이 카우치(Augustin-Louis Cauchy)의 이름을 따서 1836년에 정의되었다. Cauchy 방정식의 가장 일반적인 형태는 다음과 같이 나타낸다. 여기서 n은 굴..