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Ellipsometry: 종류 및 원리(2) - 측정 속도에 따른 Ellipsometry의 종류Ellisometry/Ellipsometry 원리 및 종류 2020. 11. 16. 22:53
측정속도가 빨라 실시간 측정이 가능한 경우 실시간(Real Time) ellipsometry가 되고 일반적으로 정적인 시편을 측정하는 ellipsometry는 ex-situ ellipsometry가 된다. 수동식 null ellipsometry 빼고는 전부 실시간 측정이 가능하다고 보면 된다. A. 실시간 단파장 ellipsometry (real-time single wavelength ellipsometry) Stepping motor로 분광기를 돌려 파장을 선택하는 경우 상당한 시간적 지체가 유발된다. 이런 방식으로 100개 정도의 파장을 가진 스펙트럼을 측정하려면 적어도 수 분 ~ 수십 분이 걸린다. 따라서 이런 방식은 단일 파장에 고정시켜야 빠른 측정이 가능하다. B. 실시간 분광 ellipsom..
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Ellipsometry의 종류 및 원리(1) - Ellipsometry 종류 및 분류Ellisometry/Ellipsometry 원리 및 종류 2020. 11. 15. 23:20
현재 사용되고 있는 Ellipsometry는 그 종류가 매우 다양한데, 이는 응용분야에 따라 그에 맞는 특성을 강조하다 보니 각기 기능과 특성이 다른 Ellipsometry가 생겨난 것이다. 아직 완벽한 Ellipsometry는 없는데 여기서 완벽하다는 것은 측정 스펙트럼의 범위가 원하는 만큼 넓고, 측정 속도가 매우 빠르며 또한 어떤 경우에 있어서도 측정의 정확성이 높다는 것이다. 또한, 물질에 관계된 광학적 정보를 빠짐없이 측정 분석할 수 있어야 하며, 어느 경우에나 사용이 가능하고 운용이 편리해야 한다. ## Ellipsometry의 종류 ## 1) 작동원리에 따른 분류(Data를 얻는 광학적인 방법에 따른 분류) 측정형식에 따라 반사형과 투과형으로 나눌 수 있고, 또 파형을 얻는 방식이 시간적인지..
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Ellipsometry에 사용되는 광학부품(4) - Compensator 및 기타 Ellipsometry 부품Ellisometry/Ellisometry 광학부품 2020. 11. 4. 23:43
Compensator 편광상태에 따라 진행파의 위상을 다르게 바꾸는 광학부품으로 'retarder'라고 한다. Quartz, mica, MgF2 등의 복굴절 물질로 만들어지는데 대부분 단축의 결정체로 광축이 판 모양의 retarder의 면과 평행하다. 선편광된 빛이 면에 수직으로 입사할 때 편광의 방향이 광축과 평행할 때와 두 방향에 대한 굴절률이 서로 다르므로, 투과하는 전자기파의 두 성분 역시 다른 속도를 가지게 된다. 따라서 위상변화가 한 쪽이 상대적으로 느려지게 된다. 이런 현상을 'retardation'이라고 부르며, 이 때 굴절률이 큰 방향을 'slow axis', 굴절률이 작은 방향을 'fast axis'라고 한다. 1) Babinet-Soleil Compensator 아래 그림과 같이 광학..